[发明专利]一种优化太阳能电池片管式扩散炉气流分布的方法有效
申请号: | 201310348787.6 | 申请日: | 2013-08-12 |
公开(公告)号: | CN103436967A | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | 王英超;熊景峰;胡志岩;李高非 | 申请(专利权)人: | 英利集团有限公司 |
主分类号: | C30B31/16 | 分类号: | C30B31/16;C30B31/10 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 陆林生 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种优化太阳能电池片管式扩散炉气流分布的方法,涉及单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的扩散工艺技术领域。所述方法通过在扩散炉内增加石英挡板,打乱了原有气流的分布,使工艺气体更加均匀的分布在炉管的各个温区,保证了太阳能电池片良好PN结的形成,使得太阳能电池转换效率更高。通过所述方法改造后的管式扩散炉,改造简单,成本低,不易损耗,使用寿命长。而且,使用所述方法降低了易损耗的工艺气体使用量,从而降低了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 优化 太阳能电池 片管式 扩散 气流 分布 方法 | ||
【主权项】:
一种优化太阳能电池片管式扩散炉气流分布的方法,该管式扩散炉内设有进气管、排气管和石英舟(1),所述石英舟(1)上设有若干个不同的温区,其特征在于:通过在炉门端(3)与石英舟(1)之间设置第二石英挡板(11),以及在石英舟(1)上的不同位置设置第一石英挡板(2),减缓气流运动、打乱原有气流的分布,使工艺气体更加均匀地分布在炉管的各个温区,使得太阳能电池片PN形成更加均匀。
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