[发明专利]一种优化太阳能电池片管式扩散炉气流分布的方法有效
申请号: | 201310348787.6 | 申请日: | 2013-08-12 |
公开(公告)号: | CN103436967A | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | 王英超;熊景峰;胡志岩;李高非 | 申请(专利权)人: | 英利集团有限公司 |
主分类号: | C30B31/16 | 分类号: | C30B31/16;C30B31/10 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 陆林生 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 优化 太阳能电池 片管式 扩散 气流 分布 方法 | ||
1.一种优化太阳能电池片管式扩散炉气流分布的方法,该管式扩散炉内设有进气管、排气管和石英舟(1),所述石英舟(1)上设有若干个不同的温区,其特征在于:通过在炉门端(3)与石英舟(1)之间设置第二石英挡板(11),以及在石英舟(1)上的不同位置设置第一石英挡板(2),减缓气流运动、打乱原有气流的分布,使工艺气体更加均匀地分布在炉管的各个温区,使得太阳能电池片PN形成更加均匀。
2.根据权利要求1所述的一种优化太阳能电池片管式扩散炉气流分布的方法,其特征在于所述第一石英挡板(2)和第二石英挡板(11)的整体为圆形或矩形,厚度在0.5mm-10mm之间,石英挡板的下部设有固定缺口(21),石英挡板上设有分布不规则或规则的孔洞。
3.根据权利要求2所述的一种优化太阳能电池片管式扩散炉气流分布的方法,其特征在于石英舟(1)分为五个温区,从左到右依次为一温区(4)、二温区(5)、三温区(6)、四温区(7)和五温区(8),石英舟(1)的左侧为炉门端(3),石英舟的右侧为气路端(9),分别在石英舟(1)的二温区(5)、三温度(6)和五温区(8)设有第一石英挡板(2)。
4.根据权利要求3所述的一种优化太阳能电池片管式扩散炉气流分布的方法,其特征在于所述第一石英挡板为圆形,二温区(5)第一石英挡板的直径为20-30cm,三温区(6)第一石英挡板的直径为18-25cm,五温区(8)第一石英挡板的直径为16-20cm。
5.根据权利要求1所述的一种优化太阳能电池片管式扩散炉气流分布的方法,其特征在于所述第二石英挡板(11)距离石英舟(1)的距离为1-10cm。
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