[发明专利]一种石英坩埚热涂氧化锆的生产工艺

摘要

本发明涉及一种石英坩埚热涂氧化锆的生产工艺，属于光伏领域；本发明要解决的问题是用于单晶多次投料所能配套的内层为氧化锆的石英坩埚不仅可将一般坩埚的污染减少至1％以下，剩余的锅底料不必经过特殊处理和清洗，直接可100％回收使用，坩埚可以循环使用多次，大大提高生产效率，节约能耗，降低生产成本；本发明的工艺流程包括：梯度布料、熔制阶段、成品出炉、尺寸检验、喷砂、切割、检验、清洗、烘干、内包装、包装入库。

主权项

一种石英坩埚热涂氧化锆的生产工艺，其特征在于：工艺步骤包括：梯度布料：先在旋转的石墨模具中加入所需重量分数为80‑120的高纯石英砂用成型棒把料刮均匀，然后将配好氧化锆粉均匀的散布在高纯石英砂上，将模具导入熔制炉内；熔制阶段：先抽真空，然后通过3根石墨电极起电弧，熔制阶段温度约2700度，抽真空带出部分石英砂粉尘，需收集处理；成品出炉：经过20‑‑30分钟的熔制阶段后，将电弧关闭，模具退出熔制炉，冷却5分钟左右把坩埚取出；尺寸检验：使用卡钳检验尺寸大小，合格产品进入下一步工序；喷砂：用喷枪将石英砂喷在石英坩埚的外表面，用来除去外表面的附砂，喷出的砂由除尘器收集后重复使用；切割：将初检合格的石英坩埚用坩埚切割倒棱机按图纸的要求把坩埚上口多余的部分切掉，再进行倒棱，外棱斜度为30°，里棱斜度为45°；检验：用测厚仪测量坩埚的厚度，用游尺测量坩埚的外径尺寸，达到固定的要求；清洗：先酸洗，将坩埚没入(6‑‑8％)HF酸洗槽内洗，然后进行高压清洗及超声波清洗，祛除表面的残留离子，(高纯水的纯度须大于15MΩ)；烘干：将清洗完的坩埚装到烘箱内把坩埚表面的水分烘干；内包装：将烘干完的坩埚通过传递窗放到洁净室内冷却，冷却后进行内包装；包装入库：使用泡沫和纸箱进行外包装，打包装托盘入库。