[发明专利]晶圆缺陷自动目检的方法有效
| 申请号： | 201310339457.0 | 申请日： | 2013-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN103424410A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 郭贤权;许向辉;顾珍 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆缺陷自动目检的方法，所述方法包括：提供一表面具有缺陷的晶圆；获取所述晶圆表面的缺陷扫描图；根据所述缺陷扫描图确定该晶圆上缺陷对应的位置区域；获取所述晶圆上缺陷对应的位置区域的光学照片；将所述光学照片与所述缺陷扫描图进行比对，以获取所述缺陷的形貌。本发明方法可以实时得到晶边上部、侧边和下部的光学照片，相比传统目检方法更加准确、高效和快速。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 自动 方法 | ||
【主权项】：
一种晶圆缺陷自动目检的方法，其特征在于，所述方法包括：提供一表面具有缺陷的晶圆；获取所述晶圆表面的缺陷扫描图；根据所述缺陷扫描图确定该晶圆上缺陷对应的位置区域；获取所述晶圆上缺陷对应的位置区域的光学照片；将所述光学照片与所述缺陷扫描图进行比对，以获取所述缺陷的形貌。
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