[发明专利]振动片、振子、振荡器以及电子设备

摘要

本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，通过蚀刻加工而得到的振动片具有：基部，具有缺口和连接部、第1部分以及第2部分，缺口和连接部沿着第1方向排列，第1部分沿着与第1方向交叉的方向排列在缺口和连接部的一侧，与连接部连接，第2部分沿着交叉的方向排列在缺口和连接部的另一侧，与连接部连接；以及振动臂，沿着与第1方向交叉的第2方向从第1部分突出，缺口具有：第1范围，具有被基部的主面的外缘夹着划定的第2方向上的宽度；第2范围，与第1范围相比，离连接部更远；以及第3范围，位于第1范围与第2范围之间，对于在第1方向上延伸的假想线与外缘所成的角，第3范围中的上述角比第1范围和第2范围中的上述角小。

主权项

一种通过蚀刻加工而得到的振动片，其特征在于，该振动片具有：基部，其具有缺口和连接部、第1部分以及第2部分，该缺口和连接部沿着第1方向排列，该第1部分沿着与上述第1方向交叉的方向排列在上述缺口和上述连接部的一侧，与上述连接部连接，该第2部分沿着上述交叉的方向排列在上述缺口和上述连接部的另一侧，与上述连接部连接；以及振动臂，其沿着与上述第1方向交叉的第2方向从上述第1部分突出，上述缺口具有：第1范围，其具有被上述基部的主面的外缘夹着划定的上述第2方向上的宽度；第2范围，其与上述第1范围相比，离上述连接部更远；以及第3范围，其位于上述第1范围与第2范围之间，对于在上述第1方向上延伸的假想线与上述外缘所成的角，上述第3范围中的上述角比上述第1范围和上述第2范围中的上述角小。