[发明专利]一种用于印刷线路板生产的掩膜光刻机

摘要

本发明介绍了一种全新的印刷线路板生产图像转移工艺和必需的掩膜光刻机，其中掩膜光刻机结构示意图见附图，其特征是由激光整形器1、激光调制器2、光纤3、激光模块4、X轴向移动伺服系统5、Y轴方向移动系统6、支撑平台7、光学镜头系统8构成。其工作原理是X轴向伺服系统5和Y轴方向移动伺服系统6在计算机的控制下携带光学镜头系统8完成X-Y平面扫描运动，同时激光模块4发出的激光经由激光整形器1后投射到激光调制器2上，在图像数据的控制下被调制的激光经光学镜头系统8成像到涂有感光胶的目标物体上，把感光胶汽化，再经过腐蚀完成图像转移；本发明技术的全新图像转移工艺如下：烤板-开料-前处理-涂胶-掩膜光刻机-蚀刻。

主权项

一种全新的印刷线路板生产图像转移工艺设备掩膜光刻机，其特征是由激光整形器、激光调制器、光纤、激光模块、X轴向移动伺服系统、Y轴方向移动系统、支撑平台、光学镜头系统构成。