[发明专利]一种用于印刷线路板生产的掩膜光刻机在审
| 申请号： | 201310330122.2 | 申请日： | 2013-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN103353709A | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 石俊民;李艳 | 申请（专利权）人： | 北京弘浩千瑞科技有限公司;石俊民 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102209 北京市昌*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 印刷 线路板 生产 光刻 | ||
【权利要求书】：
1.一种全新的印刷线路板生产图像转移工艺设备掩膜光刻机，其特征是由激光整形器、激光调制器、光纤、激光模块、X轴向移动伺服系统、Y轴方向移动系统、支撑平台、光学镜头系统构成。
2.根据权利要求1所述的掩膜光刻机，其应用的图像转移工艺特征为：烤板-开料-前处理-涂胶-掩膜光刻机-蚀刻。
3.根据权利要求1所述的掩膜光刻机，其所使用的激光器的特征是波长为1064nm的光纤激光器。
4.根据权利要求1所述的掩膜光刻机，其使用的激光调制器特征为平面反射型调制器，反射单元排列为均匀阵列式。
5.根据权利要求1所述的掩膜光刻机，其使用的感光胶特征为，对1064nm的激光敏感、受光后可汽化，耐腐蚀。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京弘浩千瑞科技有限公司;石俊民，未经北京弘浩千瑞科技有限公司;石俊民许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310330122.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种数据调理方法
- 下一篇：LCD显示屏智能检测仪
