[发明专利]一种单芯片三轴磁场感测装置

摘要

本发明提供一种三轴单芯片磁场感测装置，其包含基板、第一感测模块、第二感测模块、第三感测模块及至少一线圈。该基板具有一表面。该第一感测模块包含了至少一第一磁阻感测组件并用以感测平行该基板表面的第一磁场分量。该第二磁阻感测模块包含了至少一第二磁阻感测组件并用以感测平行该基板表面的第二磁场分量。该第三感测模块包含了至少一第三磁阻感测组件并用以感测垂直该基板表面的第三磁场分量。其中该第一磁阻感测组件与该第二磁阻感测组件中的其中一者及该第三磁阻感测组件是位于该至少一线圈的正上方或正下方。本发明的有益效果是，能于同一基板上对三个轴向的磁场进行磁阻感测的装置，借此达成磁阻感测结构的精简与整合性，并提升不同轴向之磁阻感测数值上的精确性。

主权项

一种三轴单芯片磁场感测装置，其特征在于，包含：基板，具有一基板表面，且该基板表面沿着一X‑Y平面；第一感测模块，包含至少一第一磁阻感测组件并用以感测平行该基板表面的第一磁场分量；第二感测模块，包含至少一第二磁阻感测组件并用以感测平行该基板表面的第二磁场分量；第三感测模块，包含至少一第三磁阻感测组件并用以感测垂直该基板表面的第三磁场分量，且该第三磁阻感测组件平行于该基板表面；及至少一线圈，用以设定/重设定位于其上方或下方之磁阻感测组件的磁化方向，其中该第一磁阻感测组件与该第二磁阻感测组件中的其中一者及该第三磁阻感测组件是位于该至少一线圈的正上方或正下方。