[发明专利]一种光电器件的排气激活方法

摘要

本发明公开了一种光电器件的排气激活方法，本发明通过大量实验筛选高压放电去毛刺工艺，蒸锑处理工艺，引钾激活和引铯激活的工艺，尤其是对倍增区和阴极区采用不同温度进行排除碱金属工艺，整个工艺可操作性强，能最大限度排除光电器件内的多余碱金属蒸汽，降低光电倍增管的暗电流，提高光电器件性能和质量；制备得到的光电器件质量高，性能优，稳定性好，实用性强。

主权项

一种光电器件的排气激活方法，其特征在于，它包括以下步骤：（1）将光电器件的排气管与真空排气台的真空系统相连接，然后开启真空排气台，对光电器件进行抽气，当光电器件内的真空度达到5×10‑3Pa至5.5×10‑3Pa时，预抽2至4h后给光电器件进行加温到300℃至400℃，保温4h至8h进行除气，然后降至室温；（2）然后对光电器件通入氢气净化阴极平板，对聚焦极、各级倍增极、末级倍增极、阳极进行1200V至1500V高压放电去毛刺；（3）然后将光电器件接入蒸锑通电回路进行蒸锑处理，蒸锑电流为1A～1.3A，蒸锑时间5至10分钟；（4）开启高频电炉，用高频线圈烘烤钾管和铯管进行预先除气，直到钾管内的真空度不低于1×10‑4Pa时停止烘烤，然后烤出钾蒸汽赶至与排气管相连的小球内，摘除钾管；（5）分别将光电器件的阴极与光电器件的第一倍增极接到激活电源上，钨丝灯光源固定在光电器件窗前端40～50mm处，使倍增区温度控制在200℃～250℃，阴极区温度控制在210℃～220℃，把小球内钾蒸汽赶至光电器件内，进钾激活，反复数次直到阴极面变为紫红色，摘除小球，然后烘去光电器件内的余钾；（6）开启高频电炉，用高频线圈烘烤，对铯管除气，直到铯管内的真空度不低于1×10‑4Pa时停止烘烤，烤出铯蒸汽赶至与排气管相连的另一个小球内；（7）在220℃至250℃的温度下引小球内铯蒸汽进入光电器件内，进行慢激活，当光电器件管的光电流上升至最大值后摘除铯管；（8）将光电器件中的倍增区部位保持加热温度200℃～250℃，并且把光电器件中的阴极区保持加热温度150℃～200℃，分别烘烤24h至72h，烘去光电器件管内残余的碱金属，最后封离光电器件管。