[发明专利]一种温度同步响应双光栅压力传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种温度同步响应双光栅压力传感器，金属增敏膜片和低膨胀合金骨架激光焊接连接，测压光栅一端固定在光栅固定杆上，另一端固定在靠近膜片的光栅点胶平台上。温度补偿光栅两端分别固定在其他两个光栅点胶平台上。从金属增敏膜片一侧算起，第一和第二个点胶平台之间为测压光栅和温度补偿光栅的张力缓冲区，防止两个光栅张力的交叉影响。光栅固定杆的朝向和增敏膜片的受压方向相反，有效克服了其结构补偿效应对测压光栅的不利影响。传感器径向厚度的一致性以保证了该方向上热传导效应的一致性，保证了测压光栅和温度补偿光栅温度响应速度的一致性，有效消除了温度变化对测压光栅附加波长漂移的影响，能够实现压力快速精确的测量。

主权项

一种温度同步响应双光栅压力传感器，其特征在于：包括金属增敏膜片、点胶槽、光栅固定杆、低膨胀合金固定骨架、点胶平台、尾纤出口、增敏膜片出纤保护套、测压光栅、低膨胀合金密封块、温度补偿光栅、尾部出纤保护套，金属增敏膜片和低膨胀合金固定骨架用激光焊接连接，低膨胀合金固定骨架和金属增敏膜径向厚度值保持一致，测压光栅的一端粘接固定在金属增敏膜片的光栅固定杆上，低膨胀合金固定骨架为测压光栅和温度补偿光栅提供支撑，测压光栅的另一端和温度补偿光栅的两端均粘接固定在低膨胀合金固定骨架的三个点胶平台上，点胶平台之间部分作为测压光栅和温度补偿光栅的张力缓冲区，低膨胀合金密封块与低膨胀合金固定骨架、增敏膜片出纤保护套、尾部出纤保护套用环氧胶粘接后整体密封。