[发明专利]一种高精密的光栅位移测量装置有效
| 申请号： | 201310318824.9 | 申请日： | 2013-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN103411540A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 陈新;王晗;陈新度;刘强;朱增顶 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510006 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明是一种高精密的光栅位移测量装置。包括有由反射光栅尺、第一光学放大系统、第二光学放大系统、FPGA驱动单元、第一CMOS阵列和第二CMOS阵列，反射光栅尺的增量码由第一光学放大系统放大，反射光栅尺的绝对码由第二光学放大系统放大，FPGA驱动单元驱动第一CMOS阵列和第二CMOS阵列采集两路光形成两张图像，对绝对码图像处理解码出一个光栅尺的绝对位置距离，对增量码的处理进一步计算出一个误差的增量距离，这两个距离加在一起最终得到一个CMOS阵列中心相对光栅尺的一个高精确的距离。本发明通过宏微复合的方法实现高精度位移测量，其分辨力可以到达纳米级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 光栅 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种高精密的光栅位移测量装置，其特征在于包括有由反射光栅尺（101）、第一光学放大系统（102）、第二光学放大系统（103）、FPGA驱动单元（106）、第一CMOS阵列（104）和第二CMOS阵列（105），反射光栅尺（101）的增量码由第一光学放大系统（102）放大，反射光栅尺（101）的绝对码由第二光学放大系统（103）放大， FPGA驱动单元（106）驱动第一CMOS阵列（104）和第二CMOS阵列（105）采集两路光形成两张图像，对绝对码图像处理解码出一个光栅尺的绝对位置距离，对增量码的处理进一步计算出一个误差的增量距离，这两个距离加在一起最终得到一个CMOS阵列中心相对光栅尺的一个高精确的距离。
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