[发明专利]玻璃蚀刻液再生方法及玻璃蚀刻方法

摘要

一种玻璃蚀刻液再生方法，利用钾离子化合物与老化的玻璃蚀刻液进行搅拌反应，通过过滤去除老化液中的可溶性玻璃渣。对老化液进行离子交换处理，金属离子。此外，在老化液中加入适量的氢氟酸，进而再生出符合玻璃蚀刻要求的玻璃蚀刻液。本发明的还提供一种玻璃蚀刻方法，在玻璃蚀刻过程中使用钾离子化合物去除玻璃蚀刻液中的可溶性玻璃渣。本发明可提高玻璃蚀刻的蚀刻率。

主权项

一种玻璃蚀刻液再生方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：（a）在含有老化物质氟硅酸以及可溶性玻璃渣的玻璃蚀刻液中加入钾离子化合物并进行搅拌反应，使该玻璃蚀刻液中的可溶性玻璃渣浓度降至一预定范围内；（b）对搅拌反应之后的玻璃蚀刻液进行过滤处理，去除沉淀；（c）对过滤处理之后的玻璃蚀刻液进行离子交换处理，去除玻璃蚀刻液液中的金属离子，使得玻璃蚀刻液中的金属离子浓度低于一预定值；及（d）检测离子交换处理后的玻璃蚀刻液中的氢氟酸浓度，并根据该氢氟酸浓度在该离子交换处理后的玻璃蚀刻液中加入氢氟酸，使氢氟酸的浓度达到一预定浓度。