[发明专利]一种光纤预制棒的掺杂装置及掺杂方法

摘要

本发明提供一种光纤预制棒的掺杂装置及掺杂方法，其包括加热系统、传输系统和改进的化学气相沉积系统。加热系统包括加热蒸发罐、连通加热蒸发罐的进气导管和出气导管，传输系统包括加热保温传输管和加热保温板，用以通入高纯氧气的氧气管和出气导管分别接入设有相应接口的加热保温传输管中；加热保温传输管的输出端与改进的化学气相沉积系统的旋转部分连通，各个加热蒸发罐内装有不同的有机金属螯合物；其中，至少有一个加热蒸发罐内的有机金属螯合物作为掺杂剂。应用本掺杂装置可以实现全气相掺杂，全程保温，使气体不易凝结，使用本发明的掺杂方法使得产品的掺杂均匀性、一致性均有提高，产品的性能也得到相应的保证。

主权项

一种光纤预制棒的掺杂装置，包括加热系统、传输系统和改进的化学气相沉积系统，其特征在于：所述加热系统包括多个加热单元，所述加热单元包括加热蒸发罐、设置于加热蒸发罐下部的用于通入运载气体的进气导管、设置于加热蒸发罐上部的出气导管；所述传输系统包括加热保温传输管和加热保温板，用以通入高纯氧气的氧气管和所述出气导管分别接入设有相应接口的加热保温传输管中；所述加热保温传输管的输出端与改进的化学气相沉积系统的旋转部分连通，所述加热保温板靠近连通位置固定设置于改进的化学气相沉积系统旋转部分的内壁；各个加热蒸发罐内装有不同的有机金属螯合物；其中，至少有一个加热蒸发罐内的有机金属螯合物作为掺杂剂，其螯合环中间连接所要掺杂的稀土元素，其有机物部分为碳氢基团。