[发明专利]一种新型的石墨舟清洗工艺无效
| 申请号： | 201310303709.4 | 申请日： | 2013-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN104289467A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 李楠;侯国峰 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通州区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是一种新型的石墨舟清洗工艺。该新型的清洗工艺是在旧的石墨舟清洗工艺上做了极大的改进。说明书对本工艺进行了详细的说明，并给出具体实施方案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 石墨 清洗 工艺 | ||
【主权项】：
一种新型石墨舟清洗工艺，包括：液体配方、清洗方法与时间设置、所用气体及其流量、盛放液体的槽体材质。
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