[发明专利]一种新型的石墨舟清洗工艺

说明书

技术领域

本发明是一种新型的石墨舟清洗工艺，用于石墨舟清洗操作。该配方的主要目是降低管式PECVD镀膜中在太阳能电池片制造中的返工率，以提升电池片成品率。 

背景技术

太阳能具有可再生和环保等方面的特点，这种优势让包括中国在内的许多国家将太阳能作为重点发展的新能源产业。中国**光伏产品主要供应给欧美市场，国内市场份额很小。近年来，由于欧美各国市场需求的增大，我国光伏产业取得了快速的发展，最近5年的年均增长速度达到40％以上。在政策进一步加大扶持力度的背景下，未来光伏产业的增长前景将更为广阔。 

光伏发电产业链从上游到下游，主要包括的产业链条包括多晶硅、硅片、电池片以及电池组件。在产业链中，多晶硅电池，生产的技术门槛越来越低，相应地，公司数量分布也越来越多，利润越来越地。 

而PECVD作为太阳能电池制造中的重要一环，其降低返工率提升成品率对成本的节约有着至关重要的意义。 

发明内容

本发明针对PECVD石墨舟清洗的一种方法。利用氮化硅与氢氟酸反应的原理，氮气鼓泡引起配方液体流动来加速清除石墨舟表面的氮化硅。 

本发明通过以下技术方案实现： 

1.一种新型石墨舟清洗工艺，包括：液体配方、清洗方法与时间设置、所用气体及其流量、盛放液体的槽体材质。 

2.如权利要求1所述的该清洗工艺，其特征在于，其中所述的液体配方中的水为去离子水。 

3.如权利要求2所述的该清洗工艺，其特征在于，其中所述的所用气体为氮气，主要用于鼓泡。 

4.如权利要求3所述的该清洗工艺，其特征在于，其中所述盛放液体的槽体所用的材质为PVDF材料或其它耐酸碱材料。 

本发明具有如下优点： 

1.简单易行且可单人操作，操作安全系数高 

1)石墨舟清洗前后无需拆卸，节省了人力，降低了石墨舟清洗操作的繁琐性，在提高石墨舟清 

洗操作安全系数的同时，延长了是石墨舟片及工艺点的使用寿命； 

2)一次配液可以清洗2个石墨舟，减少了配液次数，同样提高了石墨舟清洗操作的安全系数。 

2.清洗速度快 

较比早期的石墨舟清洗工艺节省了一半的时间，更加贴切了大规模生产的需求。 

3.清洗质量高 

据长期的生产实践数据来看，新型的石墨舟清洗工艺使PECVD镀膜的良品率提高了近4.2个 

百分点。 

4.极大地节约了成本，清洗每台石墨舟的氮气用量降低了85％(数据详见表1) 

本发明具有如下缺点： 

1.酸液浓度较大，会增加废水处理的难度。 

附图说明

图1清洗前的石墨舟 

图2清洗后的石墨舟 

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明作进一步介绍，这些描述都是说明性的，本发明不限于此。本发明的范围仅由所附权利要求的范围所限定。 

一种新型的石墨舟清洗工艺，包括：液体配方、清洗方法和时间设置、所用气体及其流量、盛放液体的槽体材质。 

1.液体配方 

液体配方：用49％浓度的EL级别的氢氟酸和去离子水以1∶1的比例进行配液。配液高度以漫过石墨舟1-2cm为最佳。 

2.清洗方法和时间设置 

具体如下： 

1)酸液中放入第一台待洗的石墨舟，清洗期间开启氮气鼓泡。酸洗时间：6h 

2)酸洗完毕后，取出石墨舟放入清水槽用漫过石墨舟3-5cm的去离子水漂洗，漂洗期间开启氮气鼓泡、换水3次。漂洗时间：2h。 

3)将水洗完的第一台石墨舟取出烘干。 

4)用过一次的配液中放入第二台石墨舟，清洗期间开启氮气鼓泡。酸洗时间：12h 

5)酸洗完毕后，取出石墨舟放入清水槽用漫过石墨舟3-5cm的去离子水漂洗，漂洗期间开启氮气鼓泡、换水3次。漂洗时间：2h。 

6)将水洗完的第二台石墨舟取出烘干。 

7)用完2次以后把配液排空，并用清水将槽体冲洗干净。两台石墨舟清 洗完毕。 

3.所用气体及流量 

鼓泡气体为氮气，鼓泡时气体流量为1.5SCFM。 

4.盛放液体的槽体材质 

槽体材质为PVDF等耐酸碱材料的材料。