[发明专利]一种用于链式扩散炉的双层网带

摘要

本发明公开了一种用于链式扩散炉的双层网带，所述用于链式扩散炉的双层网带包括依次绕装在主动滚筒、支撑导条、导向滚筒、换向滚筒和支撑滚筒上的可闭环转动的传输网带；所述支撑导条的一端外侧为出片口，该出片口设有用于承接传输网带上硅片的硅片传送带；由驱动装置驱动旋转的所述主动滚筒带动所述传输网带闭环转动；所述传输网带为可传送两层硅片的上下双层网带。采用发明用于硅片的扩散工序，采用上下双层输送硅片，可最大程度的发挥设备潜能，提高生产效率。

主权项

一种用于链式扩散炉的双层网带，其特征在于，包括依次绕装在主动滚筒（3）、支撑导条（5）、导向滚筒（7）、换向滚筒（8）和支撑滚筒（9）上的可闭环转动的传输网带（4）；所述支撑导条（5）的一端外侧为出片口，该出片口设有用于承接传输网带（4）上硅片（2）的硅片传送带（1）；由驱动装置驱动旋转的所述主动滚筒（3）带动所述传输网带（4）闭环转动；所述传输网带（4）为可传送两层硅片（2）的上下双层网带。