[发明专利]基于石墨烯量子点化学气相沉积合成碳纳米管的方法

摘要

本发明公开了一种基于石墨烯量子点化学气相沉积合成碳纳米管的方法。将制备好的石墨烯量子点溶液滴加在硅片表面，干燥后进入化学气相沉积反应炉，通入乙炔、乙烯、甲烷、丙烯、丁烷等作为碳源，将温度调节至适当的反应温度，在一定压强条件下合成碳纳米管。本发明未使用任何催化剂，仅使用乙炔、乙烯、甲烷、丙烯、丁烷等与石墨烯量子点分别作为碳源与基底，制备碳纳米管。与现有技术相比，本方法未使用催化剂，且首次以石墨烯量子点为基底，步骤简单，易于操作，适用于工业化生产。

主权项

一种基于石墨烯量子点化学气相沉积合成碳纳米管的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤1，将石墨烯量子点溶液滴加在硅片上，干燥后备用；步骤2，将硅片放入石英舟中；步骤3，将石英舟置于管式炉中石英管中间区域，关闭石英管两端阀门后开启冷却循环水；步骤4，开启真空泵，通入氩气净化干燥化学气相沉积炉，调节抽气量使压强稳定；步骤5，开启加热系统，氩气氛围下升温至650～900℃；步骤6，通入碳源，调节气体流量和抽气量，使石英管内压强保持稳定；步骤7，反应一段时间后，关闭加热系统，停止通入碳源和氢气，调节抽气量使压强稳定，待系统冷却至300℃以下后，停气，关闭化学气相沉积炉电源、真空泵电源和循环水系统；步骤8，系统冷却至室温后取出样品，硅片表面即得碳纳米管。