[发明专利]一种三自由度纳米定位微动硅片台

摘要

本发明公开了一种三自由度纳米定位微动硅片台，包括底板，支撑机构，柔性导向板，驱动电机，方镜，吸盘和干涉仪；底板为整个硅片台的基座；柔性导向板通过内部特殊导向簧片，实现单层三自由度运动，即X，Y和θz三个运动方向的导向作用，中间通过支撑机构与底板连接；驱动电机安装在柔性导向板内，提供驱动动力；方镜固定在柔性导向板上，侧面布置三轴干涉仪，完成位移反馈，实现系统闭环；方镜上放置吸盘，吸盘上放置硅片，由此组成一个高精度微动硅片台。采用独特的柔性导向板设计，使得三自由度运动在一个层次上实现，进而使结构紧凑，高度尺寸小；且用簧片导向，干涉仪测量，能实现数纳米级的定位精度，满足32nm技术节点硅片台定位需求。

主权项

一种三自由度纳米定位微动硅片台，其特征在于，包括：底板（106），支撑机构，驱动电机，柔性导向板（200），方镜（102），吸盘（101）和干涉仪；所述底板（106）布置在硅片台底部，为硅片台的基础框架；所述支撑机构布置在所述底板（106）和所述柔性导向板（200）之间，支撑起该硅片台的整个运动部件；所述柔性导向板（200）提供硅片台的三维导向功能，布置在所述支撑机构和所述方镜（102）之间；所述方镜（102）布置在硅片台上层，与所述柔性导向板（200）可动部分固连，同时在所述方镜（102）侧面提供所述干涉仪测量面，反馈系统位移；所述吸盘（101）布置在所述方镜（102）上，同时直接承载硅片，最终实现所述硅片的三自由度微位移调节和纳米级定位。