[发明专利]振动器件、电子设备无效
申请号: | 201310262863.1 | 申请日: | 2013-06-27 |
公开(公告)号: | CN103516325A | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
发明(设计)人: | 野泽俊之 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 振动器件、电子设备。本发明提供没有可动电极的非线形动作、也不会使振动器件的大小增加并能够进行频率调整的振动器件。振动器件具备:振子(3),其具有能相对于基板移位的梁(39)、从上述梁延伸的梳齿状的可动电极(41、42)和固定在上述基板(60)上且插在上述可动电极的梳齿状电极之间的梳齿状的固定电极(31、32);振荡电路,其使上述振子进行振荡;以及偏置电路,其向上述可动电极与上述固定电极之间提供直流偏置电压。 | ||
搜索关键词: | 振动 器件 电子设备 | ||
【主权项】:
一种振动器件,其具备:振子,其具有能够移位的梁、从所述梁延伸出的梳齿状的可动电极、和插在所述可动电极的梳齿状电极之间的梳齿状固定电极;振荡电路,其使所述振子进行振荡;以及偏置电路,其向所述可动电极与所述固定电极之间提供直流偏置电压。
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