[发明专利]振动器件、电子设备

权利要求书

1.一种振动器件，其具备：

振子，其具有能够移位的梁、从所述梁延伸出的梳齿状的可动电极、和插在所述可动电极的梳齿状电极之间的梳齿状固定电极；

振荡电路，其使所述振子进行振荡；以及

偏置电路，其向所述可动电极与所述固定电极之间提供直流偏置电压。

2.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

所述可动电极包括在俯视中隔着所述梁配置在一侧的梳齿状的第1可动电极以及配置在另一侧的梳齿状的第2可动电极，

所述固定电极包括插在所述第1可动电极之间的梳齿状的第1固定电极以及插在所述第2可动电极之间的梳齿状的第2固定电极，

所述偏置电路具备：

第1偏置电路，其向所述第1可动电极与所述第1固定电极之间提供直流偏置电压；以及

第2偏置电路，其向所述第2可动电极与所述第2固定电极之间提供直流偏置电压。

3.根据权利要求2所述的振动器件，其中，

所述振子具备：

所述可动电极，在该可动电极中，所述第1可动电极与所述第2可动电极电连接；以及

所述固定电极，在该固定电极中，所述第1固定电极与所述第2固定电极电绝缘。

4.根据权利要求2所述的振动器件，其中，

所述振子具备：

所述可动电极，在该可动电极中，所述第1可动电极与所述第2可动电极电绝缘；以及

所述固定电极，在该固定电极中，所述第1固定电极与所述第2固定电极电连接。

5.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

所述振子的所述梁的两端被固定。

6.一种振动器件，其具备：

振子，其具有梁、从所述梁延伸出的梳齿状的可动电极、和插在所述可动电极的梳齿状电极之间的梳齿状固定电极，所述梁的一端被固定，另一端能够移位；

振荡电路，其使所述振子进行振荡；以及

偏置电路，其向所述可动电极与所述固定电极之间提供直流偏置电压，

所述固定电极在构成所述可动电极的电极的一侧配置有第3固定电极。

7.根据权利要求6所述的振动器件，其中，

所述固定电极在构成所述可动电极的电极的另一侧配置有第4固定电极，

所述第3固定电极与所述第4固定电极电绝缘，

所述偏置电路具备：

第3偏置电路，其向所述可动电极与所述第3固定电极之间提供直流偏置电压；以及

第4偏置电路，其向所述可动电极与所述第4固定电极之间提供直流偏置电压。

8.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具备权利要求1或6所述的振动器件。