[发明专利]金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法有效
申请号: | 201310253226.8 | 申请日: | 2013-06-24 |
公开(公告)号: | CN103343319A | 公开(公告)日: | 2013-10-09 |
发明(设计)人: | 徐江;揭晓华;陶洪亮;王国栋 | 申请(专利权)人: | 南京航空航天大学;广东工业大学;广东奔朗新材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/18 | 分类号: | C23C14/18;C23C14/36;B22F1/00 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 李纪昌;曹翠珍 |
地址: | 210016*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种利用双阴极等离子溅射沉积法在金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法,其中溅射的靶材材料为Ti或Cr,双溅射沉积的具体工艺参数为:靶材电压800~1000V,电流2.3~6A,料盘电压300~350V,靶材与料盘间距10~20mm,料盘温度500~600℃,工作气压30~45Pa。制备得到的金刚石单颗粒强度和冲击强度得到提高,金刚石工具性能得到改善。 | ||
搜索关键词: | 金刚石 颗粒 表面 制备 纳米 金属 涂层 方法 | ||
【主权项】:
一种金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法,其特征在于:利用双阴极等离子溅射沉积法在金刚石颗粒表面制备金属涂层,其中,使用的溅射靶材材料为Ti或Cr,所述金属涂层外层为金属晶粒,晶粒尺寸在10‑100纳米,内层为100纳米厚的碳化物层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京航空航天大学;广东工业大学;广东奔朗新材料股份有限公司,未经南京航空航天大学;广东工业大学;广东奔朗新材料股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310253226.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类