[发明专利]应力匹配的悬臂梁结构及其制造方法有效
| 申请号： | 201310249847.9 | 申请日： | 2013-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN104229726A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 焦斌斌;刘瑞文;李志刚;孔延梅;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 公开了一种应力匹配的悬臂梁结构及其制造方法。一示例方法可以包括：利用第一淀积菜单，淀积第一材料的第一子层；利用与第一淀积菜单不同的第二淀积菜单，淀积第一材料的第二子层，其中第一子层和第二子层相邻设置构成第一材料层；以及淀积与第一材料不同的第二材料的层，其中第二材料层与第一材料层相邻设置，其中，该方法还包括通过调节第一材料层的各子层的厚度以及第二材料层的厚度中至少之一，使得第一材料层和第二材料层之间应力匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 应力 匹配 悬臂梁 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种应力匹配的悬臂梁结构的制造方法，包括：利用第一淀积菜单，淀积第一材料的第一子层；利用与第一淀积菜单不同的第二淀积菜单，淀积第一材料的第二子层，其中第一子层和第二子层相邻设置构成第一材料层；以及淀积与第一材料不同的第二材料的层，其中第二材料层与第一材料层相邻设置，其中，该方法还包括通过调节第一材料层的各子层的厚度以及第二材料层的厚度中至少之一，使得第一材料层和第二材料层之间应力匹配。
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