[发明专利]光模块以及光模块的制造方法

摘要

本发明的目的在于提供一种可以采用固定有光纤的辅助基板，来高精度地定位光纤与光学元件的光模块以及光模块的制造方法。光模块（1）以及其制造方法的特征在于，具有包含支持层（31）、活性层（33）、配置在支持层与活性层之间的BOX层（32）以及高度调整层（34）的辅助基板（30）；光纤（20）；固定于硅基板（10）的光学元件（40）。辅助基板（30）具有由活性层与BOX层形成的固定用槽（36），光纤被固定在固定用槽内，辅助基板通过高度调整层来相对于硅基板定位，由此光纤与光学元件被光耦合。

主权项

一种具有基板、接合到所述基板上的辅助基板以及光学元件的光模块的制造方法，其特征在于，具有如下工序：采用具有支持层、活性层以及配置在所述支持层与所述活性层之间的BOX层的基材，通过蚀刻来去除所述活性层的一部分，由此来形成具有由所述活性层与所述BOX层形成的固定用槽的辅助基板；在所述活性层上部淀积用于调整所述活性层的高度的高度调整层；在所述高度调整层的上部淀积接合用Au层；在所述固定用槽中，以使所述BOX层与光纤的上部接触的方式固定所述光纤；在所述基板上形成Au微凸块；以及设置于所述辅助基板的所述接合用Au层与设置于所述基板的所述Au微凸块在常温下被接合，由此所述光纤与所述光学元件被光耦合，根据所淀积的所述高度调整层的厚度，将所述光纤的基准位置与所述高度调整层的底面的距离保持为一定。