[发明专利]部件检查装置

摘要

本发明提供一种部件检查装置，其通过对纵向边缘和横向边缘的焦点位置偏移进行校正，从而提高部件检查的精度。部件检查装置具有：同轴照明系统，其使用光透过性镜板，向对象物照射光；以及成像透镜，其使从同轴照明系统照射并由对象物反射后的光，在拍摄元件上成像。在对象物和拍摄元件之间配置焦点位置偏移校正用的光学板。光透过性镜板相对于与成像透镜的光轴正交的平面倾斜。光学板构成为，通过在以光轴为中心而从该光透过性镜板的倾斜位置旋转90度的位置处，相对于与成像透镜的光轴正交的平面，以与光透过性镜板相同的角度倾斜，从而使得由对象物反射后的光通过在光路上存在的光学板的距离、和通过在光路上存在的光透过性镜板的距离相等。

主权项

一种部件检查装置，其特征在于，具有：同轴照明系统，其使用光透过性镜板，向对象物照射光；以及成像透镜，其使从所述同轴照明系统照射并由所述对象物反射后的光，在拍摄元件上成像，在所述对象物和所述拍摄元件之间，配置有焦点位置偏移校正用的光学板，所述光透过性镜板相对于与所述成像透镜的光轴正交的平面倾斜，所述光学板构成为，通过在以所述光轴为中心而从该光透过性镜板的倾斜位置旋转90度的位置处，相对于与所述成像透镜的所述光轴正交的所述平面，以与所述光透过性镜板相同的角度倾斜，从而使得由所述对象物反射后的光通过在光路上存在的所述光学板的距离、和通过在所述光路上存在的所述光透过性镜板的距离相等。