[发明专利]薄膜晶体管阵列基板和包括该基板的显示设备有效
申请号: | 201310241332.4 | 申请日: | 2013-06-18 |
公开(公告)号: | CN103633146B | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 李元世 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L27/12;H01L27/32;H01L51/50 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 严芬;康泉 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了一种薄膜晶体管阵列基板和包括该基板的显示设备。该薄膜晶体管(TFT)阵列基板包括:第一导电层,选自TFT的有源层、栅电极、源电极和漏电极;第二导电层,位于与第一导电层不同的层中;以及连接节点,将第一导电层联接至第二导电层。这里,TFT阵列基板具有由第一接触孔和第二接触孔形成的节点接触孔,第一接触孔位于第一导电层中,并且第二接触孔位于第二导电层中,第二接触孔是与第一接触孔一体的并且不通过绝缘层与第一接触孔分离,并且连接节点的至少一部分位于节点接触孔中。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 阵列 包括 显示 设备 | ||
【主权项】:
1.一种薄膜晶体管阵列基板,包括:第一导电层,选自薄膜晶体管的有源层、栅电极、源电极和漏电极;第一绝缘层,在所述第一导电层上;第二导电层,位于与所述第一导电层不同的层中并且在所述第一绝缘层上;第二绝缘层,在所述第二导电层上;以及连接节点,将所述第一导电层联接至所述第二导电层,所述连接节点在与所述薄膜晶体管阵列基板平行的第一平坦表面上与所述第一导电层直接接触,并且在与所述薄膜晶体管阵列基板平行的第二平坦表面上与所述第二导电层直接接触,其中所述薄膜晶体管阵列基板具有由第一接触孔和第二接触孔形成的节点接触孔,所述第一接触孔位于所述第一导电层上;并且所述第二接触孔位于所述第二导电层上,所述第二接触孔是与所述第一接触孔一体的并且不通过所述第一绝缘层和所述第二绝缘层与所述第一接触孔分离,并且其中所述连接节点的至少一部分位于所述节点接触孔中。
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