[发明专利]变形镜中间式水冷散热机构无效
| 申请号： | 201310237076.1 | 申请日： | 2013-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN103278925A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 黄磊;巩马理;闫平;柳强;张海涛;闫海波 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 贾玉姣;宋合成 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种变形镜中间式水冷散热机构，包括：镜体、热沉、致动元件和两个水接头，热沉内设有用于盛放冷却液的盛放槽，热沉上设有与盛放槽连通的进水口和出水口，热沉位于镜体的正下方。致动元件上设有多个致动腿，多个致动腿分别穿过热沉与镜体的下表面接触以通过控制每个致动腿的致动量控制镜体的形变量。两个水接头分别与进水口和出水口连通。根据本发明实施例的变形镜中间式水冷散热机构，穿过镜体的激光的热量会被热沉中的冷却液吸收，且热传导效率高，避免了致动元件被该穿过镜体的激光照射而影响致动元件的工作性能，从而镜体的形变量不受温度浮动的影响，提高了变形镜的稳定性，且该变形镜中间式水冷散热机构结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 变形 中间 水冷 散热 机构 | ||
【主权项】：
一种变形镜中间式水冷散热机构，其特征在于，包括：镜体；热沉，所述热沉内设有用于盛放冷却液的盛放槽，所述热沉上设有与所述盛放槽连通的进水口和出水口，所述热沉位于所述镜体的正下方；致动元件，所述致动元件上设有多个致动腿，所述多个致动腿分别穿过所述热沉与所述镜体的下表面接触以通过控制每个致动腿的致动量控制所述镜体的形变量；两个水接头，所述两个水接头分别与所述进水口和所述出水口连通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310237076.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
