[发明专利]变形镜中间式水冷散热机构

说明书

技术领域

本发明涉及变形镜领域，尤其是涉及一种变形镜中间式水冷散热机构。

背景技术

变形镜，又称变形反射镜，主要运用于各种自适应光学系统之中，作为波前校正器件校正波前误差，在自适应光学系统中起着极其重要的作用，是自适应光学系统中的重要部件之一，变形镜的研究和发展关系到整个自适应光学系统的校正能力和校正精度。

但现在使用的变形镜机构也有其设计局限性，当所要处理的激光对其工作面进行照射时，变形镜的致动元件就会被少部分的残余激光照射而迅速升温，使基座连同各配件产生膨胀甚至使致动元件受损失效。甚至微小的温度波动也会影响变形镜面的形变量。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种可保证镜体的形变量不受温度浮动的影响的变形镜中间式水冷散热机构。

根据本发明实施例的变形镜中间式水冷散热机构，包括：镜体；热沉，所述热沉内设有用于盛放冷却液的盛放槽，所述热沉上设有与所述盛放槽连通的进水口和出水口，所述热沉位于所述镜体的正下方；致动元件，所述致动元件上设有多个致动腿，所述多个致动腿分别穿过所述热沉与所述镜体的下表面接触以通过控制每个致动腿的致动量控制所述镜体的形变量；两个水接头，所述两个水接头分别与所述进水口和所述出水口连通。

根据本发明实施例的变形镜中间式水冷散热机构，通过设有热沉，穿过镜体的激光的热量会被热沉中的冷却液吸收，且热传导效率高，避免了致动元件被该穿过镜体的激光照射而影响致动元件的工作性能，从而该变形镜中间式水冷散热机构中的镜体的形变量不受温度浮动的影响，提高了变形镜的稳定性，且该变形镜中间式水冷散热机构结构简单。

另外，根据本发明的变形镜中间式水冷散热机构还具有如下附加技术特征：

具体地，所述热沉包括：本体，所述本体的上表面上设有蜿蜒延伸的盛放槽；顶盖，所述顶盖设在所述本体上以封闭所述盛放槽，所述本体和所述顶盖上设有多个依次贯穿所述本体和所述顶盖的通孔，所述多个通孔分别与所述多个致动腿配合。从而使得热沉结构简单，且蜿蜒延伸的盛放槽可提高冷却液的储存量，进而提高热沉的散热效果。

进一步地，所述顶盖形成为波浪形状。从而可提高热沉与激光的接触面积，使激光和热沉的接触更充分，以提高热量的吸收量。

可选地，所述顶盖形成为锯齿波形。

具体地，每个所述通孔的直径略大于相应的所述致动腿的直径。从而保证热沉不与致动腿接触，进而避免由于致动腿与热沉产生摩擦而造成致动量的反馈计算不准确，且可保证冷却液在热沉中流动产生的震动不传递给镜体。

在本发明的一些实施例中，所述镜体的下表面设有多个连接腿，所述多个连接腿分别与所述多个致动腿相连。从而便于镜体与致动元件之间的装配。

可选地，所述进水口和所述出水口设在所述热沉的相对侧壁上。

在本发明的一些实施例中，每个所述水接头包括：第一筒体，所述第一筒体装配在相应的所述进水口或所述出水口上；第二筒体，所述第二筒体从所述第一筒体的一端向外延伸，所述第二筒体的内径小于所述第一筒体的内径；环形凸起，所述环形凸起设在所述第二筒体的邻近所述第一筒体的一端上。从而可提高水接头与相应的进水口或出水口之间的密封性。

可选地，每个所述水接头为一体成型件。从而便于水接头的加工成型。

优选地，所述热沉为金属件。从而可利于热量的传导，且不容易腐蚀。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为根据本发明一个实施例的变形镜中间式水冷散热机构的示意图；

图2为图1所示的变形镜水冷散热机构的剖面图；

图3为图1所示的变形镜中间式水冷散热机构的分解示意图；

图4为根据本发明实施例的变形镜中间式水冷散热机构中的热沉的本体装配有水接头时的示意图；

图5为根据本发明另一个实施例的变形镜中间式水冷散热机构的示意图。

附图标记：

变形镜中间式水冷散热机构100、镜体1、热沉2、盛放槽20、进水口21、出水口22、本体23、顶盖24、通孔25、致动元件3、致动腿30、水接头4、第一筒体40、第二筒体41、环形凸起42、连接腿5

具体实施方式