[发明专利]超声波探测器及超声波检查装置有效
| 申请号： | 201310234153.8 | 申请日： | 2013-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN103512649B | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 中村友亮;细见浩昭 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 余刚,吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供超声波探测器及超声波检查装置。该超声波探测器包括基板，设置有多个腔体；隔膜，设置于上述腔体上；薄膜压电元件，设置于上述隔膜上；连通路径，使上述多个腔体连通；以及空气孔，使上述连通路径与外部空气连通。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 探测器 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种超声波探测器，其特征在于，包括：基板，设置有多个腔体；隔膜，设置于所述腔体上；多个薄膜压电元件，以矩阵状排列，设置于所述隔膜上；下部电极用导线，与沿所述矩阵状的相互垂直的两个方向中的一个方向排列的各所述薄膜压电元件的下部电极连接；连通路径，使所述多个腔体连通；以及空气孔，使所述连通路径与外部空气连通。
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