[发明专利]一种刻蚀和沉积工艺三维元胞信息存储结构及操作方法

摘要

本发明涉及一种刻蚀和沉积工艺元胞自动机模拟时三维元胞信息存储结构及操作方法，属于微电子加工过程中对刻蚀和沉积过程模拟技术领域，该存储结构为：创建一个二维静态数组来表示元胞自动机模型信息,该二维静态数组每个元素的信息包括：记录(x,y)列所有表面元胞的个数和一个用来存储(x,y)列所有表面元胞一维动态数组；该一维动态数组中每个元素除记录元胞的信息外，还增加一个记录表面元胞沿z轴坐标值z，用于还原三维元胞自动机模型。一维动态数组zcell中所有元素按坐标值z由小到大排序。该元胞操作方法包括对元胞的随机访问、元胞信息的添加、删除及修改。本发明解决了现有的元胞自动机模拟时使用的三维元胞信息存储结构，不能实现高分辨率元胞自动机模拟的问题。

主权项

一种刻蚀和沉积工艺元胞自动机模拟时三维元胞信息存储结构，其特征在于，设l、w和h分别代表三维元胞自动机模型中沿x轴、y轴和z轴三个方向元胞划分的数量；每个元胞看作三维离散欧几里得空间中的点(x,y,z),x∈[0..l‑1]，y∈[0..w‑1]，z∈[0..h‑1]，x、y和z分别表示该元胞在x轴、y轴和z轴上坐标位置；三维元胞信息存储结构定义如下：将三维元胞自动机模型每一列元胞{(x,y,z)|y∈[0..h]}，x∈[0..l‑1]，y∈[0..w‑1]，定义为一个元胞，则将该三维元胞自动机模型转变为二维元胞自动机模型；创建一个二维静态数组Cell2d[l][w]来表示该二维元胞自动机模型信息,该二维静态数组包含l×w个元素，每个元素对应一组下标(x,y)，x和y分别表示该元素在x轴和y轴坐标位置，x∈[0..l‑1]，y∈[0..w‑1]，l、w分别称为x维和y维的长度，该二维静态数组每个元素Cell2d[x][y]存储xy平面上(x,y)处一列元胞{(x,y,z)|y∈[0..h]}的信息；该二维静态数组每个元素Cell2d[x][y]的信息包括：记录(x,y)列所有表面元胞的个数cellnum和一个用来存储(x,y)列所有表面元胞一维动态数组zcell；该一维动态数组zcell中每个元素除记录元胞的信息c(x,y,z)外，还增加一个记录表面元胞沿z轴坐标值z，用于还原三维元胞自动机模型；一维动态数组zcell中所有元素按坐标值z由小到大排序；其中:Cell2d[x][y]:表示二维静态数组Cell2d中，下标(x,y)对应的元素；Cell2d[x][y].cellnum:表示二维静态数组中元素Cell2d[x][y]中记录(x,y)列所有表面元胞的个数cellnum;Cell2d[x][y].zcell:表示二维静态数组中元素Cell2d[x][y]中存储(x,y)列所有表面元胞一维动态数组zcell;Cell2d[x][y].zcell[znum]:表示二维静态数组中元素Cell2d[x][y]中一维动态数组zcell中下标znum对应的元素;c(x,y,z)用于描述元胞(x,y,z)的对应状态。