[发明专利]一种探针接触电阻测量方法在审
| 申请号： | 201310217405.6 | 申请日： | 2013-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN103278693A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 索鑫;任栋梁 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/08 | 分类号： | G01R27/08 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭露了一种探针接触电阻测量方法，所述测量方法包括：提供待检测晶圆，所述晶圆上形成有焊垫，所述焊垫连接至电源端VDD；将探针与焊垫接触，并将电源端VDD接地；向探针提供多次测量电流，得到探针上对应的测量电压；根据测量电流和测量电压计算出探针的接触电阻的阻值R。利用晶圆本身的结构经过简单的步骤就能得到探针与焊垫实际的接触电阻，有助于良率分析和提高晶圆针测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 接触 电阻 测量方法 | ||
【主权项】：
一种探针接触电阻的测量方法，包括：提供待检测晶圆，所述晶圆上形成有焊垫，所述焊垫连接至电源端VDD；将探针与焊垫接触，并将电源端VDD接地；向探针提供多次测量电流，得到探针上对应的测量电压；根据测量电流和测量电压计算出探针的接触电阻的阻值R。
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