[发明专利]传感器模块

摘要

提出一种用于具有相同封装要求的至少两个微机械传感器元件的成本有利且极其节省空间的模块解决方案。根据本发明的传感器模块（100）具有至少两个微机械传感器元件（1，2），其传感器功能基于测量介质的直接作用或间接作用，其特征在于，所述至少两个传感器元件（1，2）设置在一个共同的壳体（40）中，所述壳体具有用于所述测量介质的至少一个进口（43），所述至少两个传感器元件（1，2）通过构件背侧置于构件前侧上的方式彼此堆叠，使得上面的传感器元件（1）至少部分地覆盖下面的传感器元件（2）的有效区域，但确保所述测量介质对所述下面的传感器元件（2）的有效区域的对于所述传感器功能而言所需的作用。

主权项

一种传感器模块(100)，其具有至少两个微机械传感器元件(1，2)，所述至少两个微机械传感器元件的传感器功能基于测量介质的直接作用或间接作用，其中，所述至少两个微机械传感器元件(1，2)设置在一个共同的壳体(40)中，所述壳体具有用于所述测量介质的至少一个进口(43)，所述至少两个微机械传感器元件(1，2)通过构件背侧置于构件前侧上的方式彼此堆叠，使得上面的传感器元件(1)至少部分地覆盖下面的传感器元件(2)的有效区域，但确保所述测量介质对所述下面的传感器元件(2)的有效区域的对于所述至少两个微机械传感器元件的传感器功能而言所需的作用，其中，所述至少两个微机械传感器元件(1，2)分别包括一个压敏的膜片结构(11，21)，一个传感器元件(2)充当压力传感器元件而另一个传感器元件(1)充当麦克风构件，并且至少所述麦克风构件(1)的膜片结构(11)横跨所述麦克风构件的构件背侧中的空穴(12)，其特征在于，所述麦克风构件(1)的膜片结构(11)对于声压敏感而对于具有低频的压力变化是可穿透的，而所述压力传感器元件(2)的膜片结构(21)用于静态环境压力的检测。