[发明专利]一种连续波磁控管阴极的制备方法

摘要

本发明公开了一种连续波磁控管阴极的制备方法，该方法包括阴极的绕制，阴极的定型，阴极抛光等步骤。本发明提供的制备方法，可操作性强，工艺设计合理，具有优异的耐轰击、耐高温优点，使用寿命长，并且性能稳定可靠，可满足大功率连续波磁控管的装配要求，应用范围广泛。

主权项

一种连续波磁控管阴极的制备方法，其特征在于，它包括以下步骤：(1)阴极的绕制：首先将纯钼材质的绕制模具与钨带固定在车床的三抓上，并将钨带嵌入模具的凹槽内，然后调整车床的绕制张力为70至90N，绕制时钨带的加热温度为800℃至900℃，并调整车床主轴转速为20至25转/分钟，启动车床，将钨带绕制在绕制模具外周，绕制完成后用钼丝将钨带捆扎在绕制模具上，使钨带不回弹，然后松开车床三抓取下绕制模具；(2)阴极的定型：将步骤(1)绕制好的钨带和绕制模具放入钼舟中，将钼舟推入温度为1300℃至1400℃的马弗炉中保温10至20分钟，保温结束后再将绕制好的钨带和绕制模具推入50至70℃的冷却区，冷却60至80分钟后取出定型好的阴极，松开捆扎钼丝，将阴极按逆时针方向从绕制模具轻轻旋下；(3)取步骤(2)定型的阴极，采用砂轮切割机将阴极两端切掉，确保灯丝长度为27mm；(4)取步骤(3)阴极用超声清洗50至70分钟，去除阴极表面的杂质；(5)阴极抛光：将步骤(4)超声清洗过的阴极放置在电解槽中抛光10至20分钟，抛光的电解液为浓度10~20%的氢氧化钠溶液，电解的电压为25~30V，电解电流为25~30A，电解抛光结束后，将阴极从电解槽中取出后用清水清洗、烘干后即得。