[发明专利]一种大功率场效应晶体管铝-金键合过渡片的制备方法

摘要

一种大功率场效应晶体管铝-金键合过渡片的制备方法，所述铝-金键合过渡片的制备方法包括以下步骤：（1）铝片材料的选择及清洗；（2）将铝板的一面蒸上金；（3）合金化处理，增强金层和铝的欧姆接触；（4）根据要求切割成不同规格的过渡片材料。铝-金键合过渡片用于高纯铝丝键合时，将铝-金键合过渡片的金钛合金面（4）通过焊料（3）焊接在镀金芯柱的镀金层（2）上；在铝-金键合过渡片的铝面（11）上焊接高纯铝丝（1）。本发明制备的铝-金键合过渡片用于高纯铝丝键合,可以消除铝-金键合产生的金属间化合物和科肯达尔效应带来的不利影响，不会影响引线的键合强度和导通电阻。本发明适用于大功率场效应管引线键合。

主权项

一种大功率场效应晶体管铝‑金键合过渡片的制备方法，其特征在于，所述铝‑金键合过渡片的制备方法步骤如下：（1）铝片材料的选择及清洗；选用一块面积为100~300mm2、厚度为0.3mm的纯度为99%的铝板，使用化学清洗的方法去除表面的颗粒物、氧化物等杂质，放入乙醇中用超声波进行清洗，再用去离子水冲洗；（2）将铝板的一面蒸上金；首先使用电子束蒸发台在铝板的一面蒸镀一层厚度为0.1μm左右的钛金属层，在此基础上蒸镀一层厚度为1.5～2.0μm的金层，构成金钛合金面；（3）合金化处理，将过渡片置于流量为700～1000mL/min的高纯氮氛围中，保持温度在500～520 ℃，时间20±2分钟，对过渡片进行合金化处理，增强金层和铝的欧姆接触；（4）使用切片机，将其切割成1.0㎜×1.0 mm和1.5㎜×1.5mm不同规格的过渡片材料；（5）使用化学清洗和放入乙醇中超声清洗，去除过渡片边缘的毛刺和金属颗粒。