[发明专利]用于有机发光装置的反射阳极电极及其制造方法

摘要

本发明提供一种用于有机发光装置的反射阳极电极的制造方法，包括：在一腔室中在惰性气体条件下于基板之上溅射形成银反射层；在另一腔室中在惰性气体条件下于银反射层之上溅射形成透明导电氧化物缓冲层；随后在同一腔室中在同时通入惰性气体和氧气的条件下于透明导电氧化物缓冲层之上溅射形成透明导电氧化物阳极接触层。还提供一种由上述方法制造的反射阳极电极。本发明的反射阳极电极，银反射层表面未形成氧化层，表面粗糙度降低，反射率提高，且缓冲层和阳极接触层可在同一腔室中采用相同靶材连续溅射形成，工艺简单、不增加成本。

主权项

一种用于有机发光装置的反射阳极电极的制造方法，该方法包括以下步骤：(1)在一腔室中在惰性气体条件下于基板之上溅射形成银反射层；(2)在另一腔室中在惰性气体条件下于所述银反射层之上溅射形成透明导电氧化物缓冲层；(3)在步骤(2)的腔室中在同时通入惰性气体和氧气的条件下于所述透明导电氧化物缓冲层之上溅射形成透明导电氧化物阳极接触层，制成反射阳极电极。