[发明专利]在平板显示器面板的衬底上淀积有机物质的方法

摘要

本发明提供了在平板显示器面板的衬底上淀积有机物质的方法。有机材料淀积设备可包括内部形成有处理空间的腔室和供给源装置，该供给源装置生成有机源并通过设于所述处理空间中的喷淋头将所述有机源注入并扩散进所述处理空间中。所述衬底由载台装置支撑，该载台装置在所述处理空间中向上和向下移动该衬底以调整所述衬底与所述喷淋头之间的距离。抽取口设于所述处理空间的上部的上端，提供将气流经所述处理空间导向所述载台装置的真空排气路径。这使得厚度均匀的有机薄膜能够利用构造较为简单的设备进行淀积。

主权项

一种在平板显示器面板的衬底上淀积有机物质的方法，该方法包括：将衬底提供至处理空间，并在放置于所述处理空间中的夹具上支撑所述衬底；密封所述处理空间；通过设于所述处理空间的第一端的第一口和第二端的第二口对所述处理空间排气，从而在所述处理空间中形成真空；关闭所述第二口，从而终止通过该口的所述排气，而让所述第一口打开从而保持通过该口的所述排气；以及通过散布装置将有机源注入所述处理空间中，并将所述有机源淀积于所述衬底上，其中，通过在所述散布装置中形成的扩散空间接收并扩散来自源发生器的所述有机源；以及在所述散布装置中形成的多个散布孔自所述扩散空间延伸进所述处理空间中，从而将所述有机源散布进入所述处理空间中，其中，通过夹具移动模块支撑移动台并向上和向下移动所述移动台，从而使所述夹具被升高或降低。