[发明专利]一种用于具有曲面结构的金属制品表面蚀刻加工方法有效

专利信息
申请号: 201310178586.6 申请日: 2013-05-14
公开(公告)号: CN103266323A 公开(公告)日: 2013-08-28
发明(设计)人: 郭钟宁;黄红光;宋卿;王冠;张永俊;李玉祥 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: C23F1/02 分类号: C23F1/02
代理公司: 广州三环专利代理有限公司 44202 代理人: 颜希文;宋静娜
地址: 510006 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种用于曲面结构的金属制品表面蚀刻加工方法,所述方法在将金属制品放入蚀刻机进行蚀刻前,先进行掩膜和遮挡处理,掩膜处理时,金属制品平面部分的掩膜间隙均匀一致,而金属制品的曲面部分掩膜间隙从平面与曲面的结合处到曲面的边缘处逐渐增大。掩膜后的金属制品在蚀刻加工前要进行遮挡,即采用耐腐蚀遮挡物沿与金属制品平面平行的方向将金属制品的曲面部分遮挡,然后进行蚀刻加工。本发明所述方法能够用于具有曲面结构的金属制品的蚀刻加工,满足具有曲面结构的金属制品从曲面部分的边缘处到曲面与平面的结合处蚀刻所得微结构深度逐渐增加、直到平面部分蚀刻所得微结构深度均匀一致的需求。
搜索关键词: 一种 用于 具有 曲面 结构 金属制品 表面 蚀刻 加工 方法
【主权项】:
一种用于具有曲面结构的金属制品表面蚀刻加工方法,其特征在于,包含以下步骤:(1)掩膜:在金属制品的平面和曲面上分别涂覆多个正方形耐腐蚀胶,所述金属制品平面上以及金属制品平面与曲面结合处相邻两个耐腐蚀胶之间的间隙宽度均为耐腐蚀胶边长的1/4~1/3,所述金属制品曲面上相邻两个耐腐腐蚀胶之间的间隙宽度从金属制品平面与曲面的结合处到金属制品曲面的边缘逐渐增大,所述金属制品曲面边缘处相邻两个耐腐蚀胶之间的间隙宽度为耐腐蚀胶边长的1/2~1/1;(2)遮挡:用耐腐蚀遮挡物将金属制品的曲面上方遮挡;(3)初次蚀刻:将遮挡后的金属制品放在蚀刻机中进行初次蚀刻,从蚀刻机喷嘴中喷出的蚀刻液a的压力为0.3~1.8psi,蚀刻时间3~10min;(4)脱膜:将初次蚀刻后的金属制品清洗脱膜,并将遮挡金属制品曲面部分的耐腐蚀遮挡物去掉;(5)再次蚀刻:将脱膜处理后的金属制品再放到蚀刻机中进行再次蚀刻,从蚀刻机喷嘴中喷出的蚀刻液a的压力为0.1~0.8psi,蚀刻时间2~6min;(6)浸泡:对再次蚀刻后的金属制品进行清洗,然后放到蚀刻液b中浸泡,浸泡时间0.5~2min;(7)后处理:将经过步骤(6)处理后的金属制品清洗,并去除金属制品表面的杂质。
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