[发明专利]适用于大口径非球面光学零件的大气等离子体加工装置无效
| 申请号： | 201310177069.7 | 申请日： | 2013-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN103227093A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 王波;金会良;姚英学;李娜;车琳;辛强;金江;李铎 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 适用于大口径非球面光学零件的大气等离子体加工装置，本发明属于光学加工领域。它是为了解决传统的机械抛光技术存在的低加工效率而无法满足光学领域对大口径光学元件的大批量需求的问题。它的旋转电极设置在密封罩内，旋转电极与射频电源的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极；密封罩的上端绝缘连接在工作轴上，将待加工光学零件装卡在工作平台上；工作平台接地作为大气等离子体放电的阴极；旋转电极与待加工光学零件的待加工表面之间设置有放电间隙。本发明能对大口径非球面光学表面进行非接触式大气等离子体加工，加工速度高，不存在边缘效应问题。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 口径 球面 光学 零件 大气 等离子体 加工 装置 | ||
【主权项】：
适用于大口径非球面光学零件的大气等离子体加工装置，其特征在于它由旋转电极（1）、密封罩（2）、混合等离子体气源（3）、射频电源（4）、龙门加工机床（5）组成；旋转电极（1）设置在密封罩（2）内，密封罩（2）的下端有开口（2‑1），密封罩（2）的内腔通过气管（2‑2）与混合等离子体气源（3）导气连通，旋转电极（1）与射频电源（4）的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极；密封罩（2）的上端绝缘连接在龙门加工机床（5）的竖直运动工作平台（5‑2）上，将待加工光学零件（6）装卡在龙门加工机床（5）的水平运动工作平台（5‑1）上；将龙门加工机床（5）的工作平台（5‑1）与射频电源（4）相连并接地作为大气等离子体放电的阴极；旋转电极（1）与待加工光学零件（6）的待加工表面之间设置有放电间隙，放电间隙的间隙范围为：100μm～3mm；合等离子体气源（3）包含反应气体、等离子体激发气体和辅助气体，所述反应气体与等离子体激发气体的流量比为1：10~1：1000，辅助气体与反应气体的流量比为1：10~1：1。
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