[发明专利]大气等离子体成形电极加工微结构密封环类零件的装置

摘要

大气等离子体成形电极加工微结构密封环类零件的装置，它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。它的等离子体成形电极的上端面绝缘连接在五轴联动机床的竖直运动工作轴上，将待加工碳化硅密封环类零件装卡在地电极上，将五轴联动机床设置在密闭工作舱中，等离子体成形电极的下端面成形工作表面具有与待加工碳化硅密封环类零件期望的微结构面型相补偿的微结构，对零件直接进行成形加工；使等离子体成形电极靠近待加工碳化硅密封环类零件的待加工表面，并使它们之间保持一定的放电间隙。本发明能对微结构类零件表面进行加工，如碳化硅类密封环，加工效率高，精度高。

主权项

大气等离子体成形电极加工微结构密封环类零件的装置，其特征在于它由等离子体成形电极（1）、五轴联动机床（2）、射频电源（3）、密闭工作舱（5）、混合等离子体气源（6）组成：等离子体成形电极（1）的上端面绝缘连接在五轴联动机床（2）的竖直运动工作轴（2‑1）上，使等离子体成形电极（1）与射频电源（3）的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极；将待加工碳化硅密封环类零件（4）装卡在地电极（2‑3）上，地电极固定在五轴联动机床（2）的工作平台（2‑2）上；将地电极（2‑3）接地作为大气等离子体放电的阴极；将五轴联动机床（2）设置在密闭工作舱（5）中，使密闭工作舱（5）内的等离子体成形电极（1）的导气孔通过气管（5‑1）与混合等离子体气源（6）导气连通；等离子体成形电极（1）的下端面成形工作表面具有与待加工碳化硅密封环类零件（4）期望的微结构面型相补偿的微结构，对零件直接进行成形加工；等离子体成形电极（1）部分要求在径向覆盖住待加工碳化硅密封环类零件（4），等离子体成形电极（1）的下端所有转折部分倒圆角过渡，避免尖端放电，保证等离子体的放电均匀；使等离子体成形电极（1）靠近待加工碳化硅密封环类零件（4）的待加工表面，并使它们之间保持一定的放电间隙，放电距离范围为1mm‑5mm。