[发明专利]用于磁控溅射设备倒置的固定多个基片的夹具及装夹方法

摘要

本发明公开了一种用于磁控溅射设备倒置的固定多个基片的夹具，包括底座和固定件，所述底座上设有若干条燕尾槽，所述燕尾槽的顶面上间隔地设有多个用来放置基片的矩形槽，所述矩形槽的四角处均分别固定有垫片，所述垫片的高度为矩形槽与基片的高度之差；所述固定件包括与所述燕尾槽配合的燕尾形块，所述燕尾形块上设有螺钉；在所述燕尾槽中，位于每个矩形槽的两侧均分别设有一固定件，固定件中的螺钉穿过燕尾形块后紧顶在燕尾槽的底面上，装夹基片后，所述燕尾形块的顶面与所述基片的顶面平齐，可以防止产生遮挡、电场不均等现象，本发明夹具可以保证在多个基片倒置的情况下，也不会发生跌落，从而顺利地完成磁控溅射镀膜过程。

主权项

一种用于磁控溅射设备倒置的固定多个基片的夹具，包括底座（1）和固定件，其特征在于，所述底座（1）上设有若干条燕尾槽（2），所述燕尾槽（2）的顶面上间隔地设有多个用来放置基片（5）的矩形槽（3），所述矩形槽（3）的四角处均分别固定有垫片（4），所述垫片（4）的高度为矩形槽（3）与基片（5）的高度之差；所述固定件包括与所述燕尾槽（2）配合的燕尾形块（6），所述燕尾形块（6）上设有螺钉（8）；在所述燕尾槽（2）中，位于每个矩形槽（3）的两侧均分别设有一固定件，固定件中的螺钉（8）穿过燕尾形块（6）后紧顶在燕尾槽（2）的底面上。