[发明专利]飞秒激光束制备非对称微纳复合周期花样的系统及方法无效
| 申请号： | 201310172920.7 | 申请日： | 2013-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN103286453A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 贾鑫;贾天卿 | 申请（专利权）人： | 上海电机学院 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/067;G02B27/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种飞秒激光束制备非对称微纳复合周期花样的系统及方法，所述系统包括：产生飞秒激光脉冲的光源；电子快门、第一半波片、第一格兰棱镜和第一分束片；第一延时光路装置、第一全反光镜、第二全反光镜、第一汇聚透镜和第二半波片；第二分束片；依次设置于第二分束片的反射光束的光路上的第二延时光路装置、爬高镜、第二汇聚透镜和第一四分之一波片；第三全反光镜、第四全反光镜、第五全反光镜、第三汇聚透镜和第三半波片。本发明能够对激光的偏振组合进行灵活设计，方便快捷地制备非对称微纳复合周期花样，以弥补传统激光干涉技术中花样单调，缺乏灵活性的不足的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 激光束 制备 对称 复合 周期 花样 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种飞秒激光束制备非对称微纳复合周期花样的系统，其特征在于，包括：产生飞秒激光脉冲的光源；依次设置于所述光源的光路上的电子快门、第一半波片、第一格兰棱镜和第一分束片；依次设置于所述第一分束片的反射光束的光路上的第一延时光路装置、第一全反光镜、第二全反光镜、第一汇聚透镜和第二半波片；设置于所述第一分束片的透射光束的光路上的第二分束片；依次设置于所述第二分束片的反射光束的光路上的第二延时光路装置、爬高镜、第二汇聚透镜和第一四分之一波片；依次设置于所述第二分束片的透射光束的光路上的第三全反光镜、第四全反光镜、第五全反光镜、第三汇聚透镜和第三半波片。
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