[发明专利]基于纳米级粒子流的激光打孔方法有效
| 申请号： | 201310172352.0 | 申请日： | 2013-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN103240526A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 杨红艳;赵永瑞;王妍;马洪波;毕明路;郑大安 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十四研究所 |
| 主分类号： | B23K26/14 | 分类号： | B23K26/14;B23K26/38 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 050081 河北省石家*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于纳米级粒子流的激光打孔方法，主要解决现有激光打孔技术打出的孔孔壁粗糙的问题。其实现步骤是（1）将波长为355nm-266nm的紫外光激光束的功率密度调整到大于107Wcm2，并且将激光束精确地聚焦到打孔材料的打孔部位；（2）顺着激光束的方向流过0.6Mpa-1.0Mpa纳米级惰性粒子流；（3）用激光束对打孔部位进行打孔。本发明由于在进行激光打孔时增加了纳米级惰性粒子流，粒子流带走热量的同时可使孔壁钝化，能够增强孔壁强度，减弱激光对已产生孔的孔壁烧蚀强度，同时使孔壁不易崩裂，从而更加光滑。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 粒子 激光 打孔 方法 | ||
【主权项】：
一种基于纳米级粒子流的激光打孔方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）将紫外光激光束的功率密度调整到大于107Wcm2，并且将激光束精确地聚焦到打孔材料的打孔部位；（2）顺着紫外光激光束的方向流过0.6Mpa‑1.0Mpa纳米级惰性粒子流；（3）用紫外光激光束对打孔部位进行打孔，打孔时间小于0.1秒。
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