[发明专利]惯性力传感器

摘要

本发明提供一种惯性力传感器。该惯性力传感器包含用于检测惯性力的检测元件，检测元件具有第1正交臂和支承部，第1正交臂的第1臂与第2臂在实质上正交的方向连结，支承部支承第1臂。而且，第2臂具有弯折部。本发明提供一种根据此结构既能检测互不相同的多个惯性力，也能检测多个检测轴的惯性力的小型惯性力传感器。

主权项

一种惯性力传感器，其具备：用于对相互正交的X轴、Y轴、Z轴检测惯性力的检测元件，所述检测元件具有支承部和两个第1正交臂，所述第1正交臂具有一端与所述支承部连接的第1臂、和从所述第1臂的另一端向实质上与所述第1臂正交的方向分支的两个第2臂，所述第2臂具有将所述第2臂弯折的弯折部，所述第1臂和所述支承部实质上配置在同一直线上，所述第2臂向Y轴方向驱动振动，通过检测在X轴方向产生的科里奥利力来检测绕Z轴的角速度，通过检测在Z轴方向产生的科里奥利力来检测绕X轴的角速度。