[发明专利]一种蓝宝石单晶炉底部保温结构有效
申请号: | 201310151112.2 | 申请日: | 2013-04-27 |
公开(公告)号: | CN103205804A | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | 左洪波;杨鑫宏;丁广博 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本发明提供了一种蓝宝石单晶炉底部保温结构。它包括氧化锆保温层和钼隔热屏,氧化锆保温层由氧化锆纤维烧结制得的氧化锆纤维砖组接而成,置于钼隔热屏上层,钼隔热屏由多层钼片制成,氧化锆保温层与钼隔热屏间由氧化锆纤维砖组接的陶瓷环分隔,多层钼片由钼螺栓和钼螺母组接及固定。本发明解决了传统泡生法单晶炉中使用的钼下隔热屏结构在高温环境下使用过程中容易变形,温场不够合理,温度调节难控制等问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 单晶炉 底部 保温 结构 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石单晶炉底部保温结构,其特征在于它包括氧化锆保温层和钼隔热屏,氧化锆保温层由氧化锆纤维烧结制得的氧化锆纤维砖组接而成,置于钼隔热屏上层,钼隔热屏由多层钼片制成,氧化锆保温层与钼隔热屏间由氧化锆纤维砖组接的陶瓷环分隔,多层钼片由钼螺栓和钼螺母组接及固定。
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