[发明专利]10.3~11.3μm透过长波红外滤光片及制备方法有效
申请号: | 201310150084.2 | 申请日: | 2013-04-25 |
公开(公告)号: | CN103245995A | 公开(公告)日: | 2013-08-14 |
发明(设计)人: | 王多书;董茂进;熊玉卿;张玲;王济洲;李晨;王超;高欢 | 申请(专利权)人: | 兰州空间技术物理研究所 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;G02B1/10;B32B9/04;C23C14/06;C23C14/52 |
代理公司: | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人: | 杨志兵;郭德忠 |
地址: | 730000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | 本发明涉及10.3~11.3μm透过长波红外滤光片及制备方法,属于光学薄膜技术领域。该滤光片包括锗基底和长、短波通膜系;长波通膜系结构为(0.5hl0.5h)^9(0.574l1.148h0.574l)^5(0.36h0.72l0.36h)^5,中心波长7300nm;短波通膜系结构为(lh)^8,中心波长14600nm;l和h分别为硫化锌和碲化铅膜层;通过真空中加热基底,离子源通氩气下电阻蒸发在基底两侧沉积长、短波通膜系,冷却后制得。该滤光片在10.3~11.3μm透过率高,0.9~10.15μm和11.45~20μm宽截止,膜系层数较少,满足遥感探测系统使用要求;该方法简便稳定,成品率高。 | ||
搜索关键词: | 10.3 11.3 透过 长波 红外 滤光 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种10.3~11.3μm透过长波红外滤光片,其特征在于:所述滤光片包括锗基底、基底一侧的长波通膜系和基底另一侧的短波通膜系;长波通膜系包括交替叠加的硫化锌和碲化铅膜层,结构为:(0.5hl0.5h)^9(0.574l1.148h0.574l)^5(0.36h0.72l0.36h)^5,中心波长为7300nm;h为碲化铅膜层,0.5h表示碲化铅膜层厚度为0.5个基本厚度,1.148h表示碲化铅膜层厚度为1.148个基本厚度,0.36h表示碲化铅膜层厚度为0.36个基本厚度,l为硫化锌膜层,表示硫化锌膜层厚度为1个基本厚度,0.574l表示硫化锌膜层厚度为0.574个基本厚度,0.72l表示硫化锌膜层厚度为0.72个基本厚度,所述基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一,基本膜堆(0.5hl0.5h)的周期数为9,基本膜堆(0.574l1.148h0.574l)和(0.36h0.72l0.36h)的周期数均为5;短波通膜系包括交替叠加的硫化锌和碲化铅膜层,结构为:(lh)^8,中心波长为14600nm;l为硫化锌膜层,表示硫化锌膜层厚度为1个基本厚度,h为碲化铅膜层,表示碲化铅膜层厚度为1个基本厚度,所述基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一,基本膜堆(lh)的周期数为8。
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