[发明专利]在蓝宝石单晶炉中应用的氧化锆保温结构有效

专利信息
申请号: 201310144716.4 申请日: 2013-04-24
公开(公告)号: CN103205803A 公开(公告)日: 2013-07-17
发明(设计)人: 左洪波;杨鑫宏;张学军;丁广博 申请(专利权)人: 哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司
主分类号: C30B17/00 分类号: C30B17/00;C30B29/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 发明提供了一种在蓝宝石单晶炉中应用的氧化锆保温结构,该氧化锆保温结构包括多层不同直径的氧化锆保温桶,每层氧化锆保温桶在高度方向上由多层圆环组接而成,每层圆环由多瓣氧化锆纤维砖环瓣拼接而成,氧化锆纤维砖环瓣由氧化锆纤维烧结制得的氧化锆纤维砖制成。本发明解决了传统泡生法单晶炉中使用的多层钼桶结构在使用过程中温场控制困难,高温环境下钼桶容易变形等问题,更加易于调节温场并建立合理温度梯度。
搜索关键词: 蓝宝石 单晶炉中 应用 氧化锆 保温 结构
【主权项】:
一种在蓝宝石单晶炉中应用的氧化锆保温结构,其特征在于该氧化锆保温结构包括多层不同直径的氧化锆保温桶,每层氧化锆保温桶在高度方向上由多层圆环组接而成,每层圆环由多瓣氧化锆纤维砖环瓣拼接而成,氧化锆纤维砖环瓣由氧化锆纤维烧结制得的氧化锆纤维砖制成。
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