[发明专利]固定由晶体硅制成的两个部件的方法在审
| 申请号： | 201310137112.7 | 申请日： | 2013-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN103376728A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | P·卡森;A·科斯塔蒂诺夫;D·马利特;N·卡拉帕提斯 | 申请（专利权）人： | 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G04B17/06 | 分类号： | G04B17/06;G04D3/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 秘凤华;吴鹏 |
| 地址： | 瑞士勒*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于固定两个晶体硅部件（3，7，17）的方法，所述方法包括如下的步骤：a）形成包括至少一个凹部（25）的第一部件（3）；b）形成包括至少一个突出部分（14）的第二部件（17）；c）将所述至少一个突出部分（14）组装在所述至少一个凹部（25）中；根据本发明，所述方法还包括如下的最终步骤：d）氧化所述组件以减小所述部件（3，7，17）之间的任何间隙，从而使所述部件相对于彼此固定不动。本发明涉及微机械部件的领域。 | ||
| 搜索关键词： | 固定 晶体 制成 两个 部件 方法 | ||
【主权项】：
一种用于固定两个晶体硅部件（3，7，17）的方法，所述方法包括如下的步骤：a）形成包括至少一个凹部（23，25）的第一部件（3，7）；b）形成包括至少一个突出部分（14）的第二部件（17）；c）将所述至少一个突出部分（14）组装在所述至少一个凹部（23，25）中；其特征在于，所述方法包括如下的最终步骤：d）氧化组件以减小所述部件（3，7，17）之间的任何间隙，从而使所述部件相对于彼此固定不动。
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