[发明专利]固定由晶体硅制成的两个部件的方法

权利要求书

1.一种用于固定两个晶体硅部件（3，7，17）的方法，所述方法包括如下的步骤：

a）形成包括至少一个凹部（23，25）的第一部件（3，7）；

b）形成包括至少一个突出部分（14）的第二部件（17）；

c）将所述至少一个突出部分（14）组装在所述至少一个凹部（23，25）中；

其特征在于，所述方法包括如下的最终步骤：

d）氧化组件以减小所述部件（3，7，17）之间的任何间隙，从而使所述部件相对于彼此固定不动。

2.一种用于固定两个晶体硅部件（3，7）的方法，所述方法包括如下的步骤：

a）形成分别包括至少一个第一凹部（25）和至少一个第二凹部（23）的第一部件（3）和第二部件（7）；

b）形成包括至少一个第一突出部分（14）和至少一个第二突出部分（12）的中间晶体硅部件（17）；

c）将所述至少一个第一突出部分（14）组装在所述至少一个第一凹部（25）中，并且将所述至少一个第二突出部分（12）组装在所述至少一个第二凹部（23）中；

其特征在于，所述方法包括如下的最终步骤：

d）氧化组件以减小所述部件（3，7，17）之间的任何间隙，从而使所述部件相对于彼此固定不动。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述晶体硅部件（3，7，17）中的至少一个包括弹性变形装置（13，19），以便将在步骤c）中形成的组件保持在一起。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第一和第二部件（3，7，17）经由至少一个材料桥接件（20，22）与定位装置（2）一体地形成。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述定位装置（2）包括与所述第一部件成一体的第一框架（4）和与所述第二部件成一体的第二框架（6），在步骤c）的组装操作期间，使用放置装置（8）将各个框架（4、6）相对于彼此对齐。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述放置装置（8）包括至少一个附接元件（10），所述附接元件（10）与各个框架（4、6）的至少一个腔体（24、26）配合。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述放置装置（8）包括弹性部（27、29），以便保持在步骤c）中实现的对齐。

8.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述定位装置（2）由基于晶体硅的元件制成。

9.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，步骤d）形成厚度在0.5μm至6μm之间的外部二氧化硅层。

10.一种钟表，其特征在于，所述钟表包括通过根据权利要求1或2的方法固定的至少两个部件（3，7，17）。