[发明专利]一种薄膜的制备方法

摘要

本发明提供一种薄膜的制备方法，先取含有氧化镓或氧化铟的金属混合液涂到基底表面，再通过水流或气体对基底表面进行吹扫，从而在基底表面形成纳米量级薄膜。本发明薄膜的制备方法简单，成本低廉，适宜推广使用，可在热管理、机械、电子、化学、半导体、医药卫生、生物等领域中发挥重要作用。

主权项

一种薄膜的制备方法，其特征在于，将含有氧化镓和/或氧化铟的金属混合液喷涂到基底表面，再通过氮气或惰性气体对基底表面进行吹扫，得到纳米量级薄膜；所述氧化镓和/或氧化铟占金属混合液的质量百分比为0.05‑5％；所述金属混合液熔点小于200℃；所述氮气或惰性气体的吹扫压力为2‑20MPa，吹扫距离为2‑100mm，吹扫移动速率为0.1‑10cm/min。