[发明专利]纳米平板印刷方法和装置无效
| 申请号： | 201310125512.6 | 申请日： | 2013-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN103376646A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | F·霍尔泽;A·W·诺尔 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 酆迅;张宁 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明主要地涉及纳米平板印刷装置和方法。这样的方法包括：提供(S10)：模具(100)，在模具的一侧(101)上包括形貌图案(140)，形貌图案由具有纳米级尺度的结构(130)形成；以及在衬底(220)上的与模具的所述一侧相对的可热分解聚合物膜(210)，诸如聚邻苯，其中该结构被加热至聚合物膜的分解温度(Td)以上；使所述结构与聚合物膜接触(S20)以热分解其与所述结构对应的部分；并且从聚合物膜去除(S50)结构。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 平板 印刷 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种纳米平板印刷方法，包括： 提供(S10)： 模具(100)，在所述模具的一侧(101)上包括具有纳米级尺度的结构(130)，所述结构形成形貌图案(140)；以及 衬底(220)上的、与所述模具的所述一侧相对的可热分解聚合物膜(210)， 其中所述结构被加热至所述聚合物膜的分解温度(Td)以上； 使所述结构与所述聚合物膜接触(S20)以热分解(S30)其与所述结构对应的部分；并且 从所述聚合物膜去除(S50)所述结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国际商业机器公司，未经国际商业机器公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310125512.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：奶牛乳房炎和子宫内膜炎样品采集储运管
- 下一篇：一种多功能B超探头保护壳
