[发明专利]谐振器及其制造方法在审
| 申请号： | 201310124937.5 | 申请日： | 2013-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN103296993A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;张孟伦;张浩 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H3/007 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种谐振器及其制造方法，其中，该制造方法包括：在压电层上方形成对准结构，其中，对准结构包括需要进行对准的多个层、以及用于将多个层进行对准的对准层；利用对准层将多个层中部分或全部层的边缘部分去除，使经去除后多个层的边缘彼此对准。本发明通过设置对准层，能够将谐振器中不同层的图形自对准，避免了不同层的图形未对准导致的谐振器(以及由谐振器构成的滤波器等器件)性能受损的问题，能够有效提高器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种谐振器的制造方法，其特征在于，包括：在压电层上方形成对准结构，其中，所述对准结构包括需要进行对准的多个层、以及用于将所述多个层进行对准的对准层；利用所述对准层将所述多个层中部分或全部层的边缘部分去除，使经去除后所述多个层的边缘彼此对准。
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